半導體生產(chǎn)中所需的超純水設備又是如何清洗保養的?
隨著(zhù)人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興市場(chǎng)的不斷發(fā)展,全球半導體行業(yè)市場(chǎng)規模整體呈現增長(cháng)趨勢。半導體作為一種在常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的一類(lèi)材料,在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發(fā)電、照明應用等領(lǐng)域中應用良多。
這樣的半導體在生產(chǎn)中除了一道道工序外,還需要超純水設備的應用來(lái)制備清洗用水,在長(cháng)期應用中許多用戶(hù)都有面臨一些問(wèn)題,例如設備如何保養才能延長(cháng)壽命,又或者是超純水設備停用應該如何是好?今天我們就來(lái)解答一些關(guān)于超純水設備如何清洗保養。
具體情況如下:
1、將專(zhuān)用清洗液與處理后的純水在清洗藥箱內混合。
2、用清洗泵低流量將清洗液以低流速、低壓力打至反滲透系統,并排走原水,防止清洗液稀釋。
3、保持設備溫度穩定,用清洗泵將清洗液在系統中循環(huán)。
4、清洗液在設備內浸泡一小時(shí)即可,污染較嚴重的反滲透膜可進(jìn)行更長(cháng)時(shí)間的浸泡清洗。
5、用清洗泵大流量打入清洗液30—60分鐘,使反滲透膜上被洗掉的污染物隨高流速水沖走。
6、用清水將清洗液沖去。設備沖洗后的清水需要保證PH6.5-7.5之間。
以上就是全文。關(guān)于半導體生產(chǎn)中應用的超純水設備除了上述的清洗保養問(wèn)題外,在使用與安裝過(guò)程中也都需要很注意,需要嚴格按照規范或者專(zhuān)人指導來(lái)操作,這樣才能保障設備的安全性和出水的穩定性。
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編輯:柒柒 技術(shù):米
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