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超純水設備的應用為硅晶圓生產(chǎn)送去高品質(zhì)超純水

時(shí)間：2023-09-22

　　硅晶圓是一種半導體材料，在經(jīng)過(guò)照相制版，研磨，拋光，切片等一系列工序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。這種硅晶圓在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和生物醫學(xué)等領(lǐng)域都是多有應用。近年來(lái)，我國越來(lái)越重視硅晶圓的生產(chǎn)，帶動(dòng)了其上下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，超純水設備的應用也在其列。

　　硅晶圓生產(chǎn)與超純水設備是什么關(guān)系?在硅晶圓研磨，拋光，切片這些工序中少不了其身影，超純水設備主要是為期送去高品質(zhì)清洗超純水，方便其清洗表面的金屬物質(zhì)。那么這樣的超純水設備是如何制出高品質(zhì)超純水的？

超純水設備

　　該設備采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床的組合形式來(lái)制備超純水。該設備具有高效低能、運行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運行的時(shí)間長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。設備中應用的EDI模塊在運行過(guò)程中不需要添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運輸問(wèn)題，同時(shí)降低了系統運行費用。EDI模塊不會(huì )產(chǎn)生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理。EDI進(jìn)水為二級反滲透產(chǎn)水，水質(zhì)較好。即使經(jīng)EDI系統脫鹽后，EDI濃水水質(zhì)仍?xún)?yōu)于一級反滲透產(chǎn)水，可回流至一級反滲透產(chǎn)水箱?？蛇B續工作，無(wú)需更換樹(shù)脂。

　　并且該超純水設備滿(mǎn)足了各種工業(yè)用水的不同需求，應用范圍非常廣泛，可適用于電子、半導體、線(xiàn)路板、集成電路、機密機械的生產(chǎn)和清洗，還可以應用在食品飲料行業(yè)中和飲用水的制取。設備能夠連續穩定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水，其占地非常小，可以為企業(yè)節省很多空間，在符合硅晶圓生產(chǎn)用水水質(zhì)標準的同時(shí)可以使水資源的利用率達到95%~99%，有效提升了水資源利用率。

　　隨著(zhù)半導體行業(yè)不斷的發(fā)展，我國對于硅晶圓需求只多不少，側面帶動(dòng)了超純水設備的市場(chǎng)需求，未來(lái)發(fā)展形勢也是一片大好!

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　　編輯：柒柒技術(shù)：米

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